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外周研削・OF用ダイヤモンドホイール

事業部門
電子・半導体
工具の種類
研削工具
加工方法
研削
ワーク
半導体材料
ボンド
メタル、 レジン

製品概要

太陽電池用及び半導体用シリコンインゴットの研削加工に、ダイヤモンドメタルホイールおよびダイヤモンドレジンホイールが使用されます。様々な分野で培われた実績をもとに、お客様のニーズや保有マシンにあったホイールをご提供します。

用途

  • ウェーハ外周部の面取り、粗・仕上げ

ボンドの種類

  • レジン
  • メタル

製品特性

外周研削及びオリフラ加工の主な仕様


メタルボンド
 
粒度

粗研削   /   精研削

外径
 
MHX

MK10

#60~80   /   #140~200
 

Φ78~Φ120
 
Scroll

※上記はシリコンインゴット加工においての一般的な仕様であり、上記以外の仕様も対応可能です(要相談)。

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