査読付き論文
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PUltra-high growth rate of boron-doped diamond films with optimized growth parameters using in-liquid microwave plasma CVD | Y. Tominaga, Y.M. Hunge, N. Kubota, N. Ishida, S. Sato, T. Kondo, M. Yuasa, H. Uetsuka, C. Terashima |
Diamond and Related Materials 140 (2023) 110543. |
Element Dependence of Local Disorder in Medium-Entropy Alloy CrCoNi | N. Hanasaki, M. Oda, K. Niitsu, K. Ehara, H. Murakawa, H. Sakai, H. Nitani, H. Abe, H. Sagayama, H. Uetsuka, T. Karube, H. Inui, |
Diamond and Related Materials 140 (2023) 110543. |
Preparation of Amino Group Modified Diamond Using Photocatalyst and Thermal Conductivity of Diamond/Copper Composite by Electroplating | N. Ishida, K. Kato, N. Suzuki, K. Fujimoto, T. Hagio, R. Ichino, T. Kondo, M. Yuasa, H. Uetsuka, A. Fujishima. C. Terashima | Diamond and Related Materials 118 (2021) 108509. |
High-speed synthesis of heavily boron-doped diamond films by in-liquid microwave plasma CVD | Y. Harada, R. Hishinuma, N. Spătaru, Y. Sakurai, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, A. Fujishima, T. Kondo, M. Yuasa | Diamond and Related Materials 92 (2019) 41-46. |
Shear melting of silicon and diamond and the disappearance of the polyamorphic transition under shear | G. Moras, A. Klemenz, T. Reichenbach, A. Gola, H. Uetsuka, M. Moseler, L. Pastewka | Physical Review Materials 2 (2018) 083601. |
Rapid growth of diamond and its morphology by in-liquid plasma CVD | Y. Harada, R. Hishinuma, C. Terashima, H. Uetsuka, K. Nakata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | Diamond and Related Materials 63 (2016) 12-16. |
Activation and mechanochemical breaking of C-C bonds initiate wear of diamond (110) surfaces in contact with silica | A. Peguiron, G. Moras, M. Walter, H. Uetsuka, L. Pastewka, M. Moseler | Carbon 98 (2016) 474-483. |
解説
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半導体デバイス製造を支えるCMP技術の開発動向 ~CMP技術・プロセスの概要理解から、多様な要求事項に応える装置・スラリー・パッド・計測・評価・新規プロセス等、要素技術の進展~ |
束田充 | サイエンス&テクノロジー刊 (2023). |
マイクロ波液中プラズマ法によるダイヤモンドの長時間高速合成 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | サイエンス&テクノロジー刊 149 (2023) 29-31. |
光触媒を用いたダイヤモンドのアミノ基修飾と銅基質に対する高分散複合化技術 | 加藤華月, 石田直哉, 鈴木孝宗, 藤本憲次郎, 萩尾健史, 市野良一, 近藤剛史, 湯浅真, 上塚洋, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 表面技術 72 (2021) 701-703. |
マイクロ波液中プラズマ法によるダイヤモンド合成 | 富永悠介, 内田晃弘, 近藤剛史, 四反田功, 湯浅真, 板垣昌幸, 藤嶋昭, 上塚洋,寺島千晶 | 材料の化学と工学 58 (2021) 172-175. |
特集 鏡面仕上げ用工具の進化 新しい多孔質メタルホイールが広げる研削加工の可能性 |
中 正規 | 砥粒加工学会誌 65 (2021) 405. |
特集 NC研削盤における表面仕上げ品位と計測自動化 工具刃先研削用ホイールアスパイヤーメタルプラス,エアロメタル |
清水智也 | ツールエンジニア 61 (2020) 40. |
特集 砥石のイロハ~解体新書~ ドレッサ・ツルーア |
岩渕拓哉 | 砥粒加工学会誌 60 (2016) 248. |
エレクトロニクス分野における添加剤・薬品便覧-220選- | 束田充 | 技術情報協会刊 (2013). |
特集 複合めっき法による砥石の紹介 研削用電着ホイールの紹介 |
前田知洋 | 砥粒加工学会誌 57 (2013) 502. |
メカライフ特集
ニッポンのオンリーワン「メカ」 電着ワイヤ"EcoMEP"のオンリーワン技術 |
松崎裕明 | 日本機械学会誌 115 (2012) 642. |
特集 産業界からみた加工技術の展望 基板材料における研削加工・工具の技術動向と将来展望 |
池田隆二 | 砥粒加工学会誌 56 (2012) 15. |
その他記事(関連含む)
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会員企業を訪ねて ダイヤモンド工具の総合デパートとして 旭ダイヤモンド工業株式会社 | 精密工学会誌 89 (2023) 568. | |
Grinding technology Japan 2023 出展企業紹介・賛助会員 | 砥粒加工学会誌 67 (2023) 13. | |
賛助会員紹介 | 砥粒加工学会誌 66 (2023) 260. | |
学会だより“NDNC2020/2021 | 上塚洋 | ニューダイヤモンド 142 (2021) 46. |
巻頭言 砥石屋の夢想する理想のダイヤモンド |
上塚洋 | ニューダイヤモンド 131 (2018) 1. |
メカニカル特集 メカニカル特集にあたって |
上塚洋 | ニューダイヤモンド 119 (2015) 9. |
加工特集 加工特集にあたって |
上塚洋 | ニューダイヤモンド 111 (2013) 3. |
おじゃまします 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 トライボロジー研究グループ訪問 |
上塚洋 | ニューダイヤモンド 107 (2012) 43. |
NEW Mウォッチング 有気孔メタルボンド超砥粒ホイール「エアロメタル」 |
生方淳 | ニューダイヤモンド 107 (2012) 42. |
巻頭言 素材とダイヤモンド・cBN工具 |
松田順一 | ニューダイヤモンド 102 (2011) 1. |
企業トップに聞く! | 川嶋一夫 | 砥粒加工学会誌 55 (2011) 272. |
口頭(ポスター)発表
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SnO2系電極へのシランコーティングによる生成オゾン濃度の安定化 | 岡村綾也, 石原圭造, 上塚洋, 寺島千晶, 関蘇軍 | 第28回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2024). |
ダイヤモンド電極によるCO2を原料としたカルボン酸合成法の開発 | 稲葉任哉, 高木海, フンゲ ユワァラジャ モハン, 上塚洋, 寺島千晶 | 第28回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2024). |
【最優秀賞】マイクロ波液中プラズマCVD法における負バイアス印加によるボロンドープダイヤモンドの長時間合成 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, 佐野方紀, Y.M. Hunge, 寺島千晶 | 第28回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2024). |
マイクロ波液中プラズマCVD法による二酸化炭素還元 | 石原圭造,久保田侃昌, 上塚洋, Y.M. Hunge, 寺島千晶 | 第28回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2024). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いたBDD合成における溶媒組成変化の追跡 | 石原圭造,久保田侃昌, 上塚洋, Y.M. Hunge, 寺島千晶 | 表面技術協会関東支部第102回若手講演会 (2023). |
ダイヤモンド電極を用いたCO2を原料とする電解カルボキシル化反応の解析, | 稲葉任哉, 高木海, フンゲユワァラジャモハン, 上塚洋, 寺島千晶 | 表面技術協会関東支部第102回若手講演会 (2023). |
CO2還元に向けた走査型マイクロ波液中プラズマCVD法によるダイヤモンド電極の合成 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, Y.M. Hunge, 寺島千晶 | 表面技術協会関東支部第102回若手講演会 (2023). |
マイクロ波液中プラズマ法による二酸化炭素の有用物質への変換 | 池田藍子, 上塚洋, 寺島千晶 | 表面技術協会関東支部第102回若手講演会 (2023). |
Long-time synthesis of boron-doped diamond by in-liquid microwave plasma CVD for the fabrication of diamond electrodes | N. Kubota, H. Uetsuka, S. Sato, Y.M. Hunge, C. Terashima | International Conference on Surface Engineering (ICSE2023) (2023). |
Conversion of CO2 into Valuable Chemicals by In-Liquid Microwave Plasma CVD | A. Ikeda, H. Uetsuka, C. Terashima | International Conference on Surface Engineering (ICSE2023) (2023). |
隔膜フリー水電解によるオゾン生成に向けたSnO2系電極の開発 | 石原圭造, 久保田侃昌, 岡村綾也, 上塚洋, Yuvaraj Mohan Hunge, 手嶋勝弥, 寺島千晶 | 表面技術協会第148回公演大会 (2023). |
Analysis of Electrocarboxylation reactions Using Boron Doped Diamond Electrode with CO2 as Raw Material | T. Inaba, K. Takagi, Y.M. Hunge, H. Uetsuka, C. Terashima | Materials Research Meeting (MRM2023) (2023). |
CO2 Conversion to CH3OH by In-Liquid Microwave Plasma CVD Method | A. Ikeda, H. Uetsuka, C. Terashima | Materials Research Meeting (MRM2023) (2023). |
Scanning in-liquid microwave plasma CVD assisted synthesis of BDD films for CO2 reduction application | N. Kubota, H. Uetsuka, S. Sato, Y.M. Hunge, C. Terashima | Materials Research Meeting (MRM2023) (2023). |
Development of a scanning in-liquid microwave plasma CVD for expanding BDD films | N. Kubota, H. Uetsuka, S. Sato, Y.M. Hunge, C. Terashima | 33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials (2023). |
カップ型複層砥石を用いた超硬の正面研削における研削抵抗分布と仕上げ面粗さへの影響 | 堀口晋平, 藤原貴典, 小松原凌, 大橋一仁, 児玉紘幸, 大西孝, 前田知洋 | 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2023) (2023). |
マイクロ波液中プラズマ法によるホウ素ドープダイヤモンド膜の大面積化 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 日本化学会第103春季年会 (2023). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いた二酸化炭素変換の条件最適化 | 池田藍子, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 日本化学会第103春季年会 (2023). |
酸化スズ系電極の作製と水電解によるオゾン水生成 | 石原圭造, 久保田侃昌, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 日本化学会第103春季年会 (2023). |
パワー半導体用基板材料の研削加工 | 渡邊正和 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第106回研究会「パワー半導体材料の基板加工技術最前線―Si,SiC,GaNの研削・研磨 他―」 (2022). |
超硬の正面研削における研削液供給法が及ぼす研削抵抗および研削抵抗分布への影響 | 藤原貴典, 小松原凌, 堀口晋平, 大橋一仁, 児玉紘幸, 大西孝, 前田知洋 | 日本機械学会2022年度年次大会 (2022). |
マイクロ波液中プラズマ法によるホウ素ドープダイヤモンド膜の厚膜化 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 第27回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2022). |
【奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法による二酸化炭素還元における条件の検討 | 池田藍子, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 第27回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2022). |
酸化スズ系電極を用いた水分解によるオゾン生成 | 石原圭造, 久保田侃昌, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 第27回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2022). |
有限要素解析を用いたマイクロ波液中プラズシミュレーションの基礎検討 | 池谷正和, 久保田侃昌, 上塚洋, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第27回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2022). |
マイクロ波液柱プラズマ法によるダイヤモンドの高速成長 | 寺島千晶, 久保田侃昌, 富永悠介, 上塚洋 | 第51回結晶成長国内会議 (JCCC-51) (2022). |
Conversion of carbon dioxide to useful substances by In-Liquid Microwave Plasma CVD | A. Ikeda, H. Uetsuka, N. Suzuki, C. Terashima | International Conference on Materials Science and Engineering (Materials Oceania) (2022). |
マイクロ波液中プラズマ法による厚膜ダイヤモンドの高速合成 | 久保田侃昌, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 第36回ダイヤモンドシンポジウム (2022). |
Synthesis of Diamond Thick Films by In-liquid Microwave Plasma CVD | N. Kubota, H. Uetsuka, N. Suzuki, A. Fujishima, C. Terashima | ISNTP-12 & ISEHD 2022 (2022). |
光触媒を用いたダイヤモンドのアミノ基修飾と銅ダイヤモンド複合体の作製 | 石田直哉, 鈴木宗孝, 藤本憲次郎, 近藤剛史, 湯浅真, 上塚洋, 藤嶋昭, 手嶋勝弥, 寺島千晶 | 東京理科大学スペースシステム創造研究センター 第3回宇宙シンポジウム (2022). |
【奨励賞】有限要素解析を用いたマイクロ波液中プラズマの電磁界シミュレーション | 辻井翔矢斗, 富永悠介, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いた二酸化炭素還元 | 池田藍子, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
【奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法による厚膜ダイヤモンドの高速合成 | 久保田侃昌, 富永悠介, 寺島千晶, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
マイクロ波液中プラズマCVDによるボロンドープダイヤモンド膜成長の高速化 | 富永悠介, 寺島千晶, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭, 佐藤進 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
マイクロ波液中プラズマCVDを用いたボロンドープダイヤモンドの超高速成長 | 富永悠介, 上塚洋, 石田直哉, 近藤剛史, 湯浅真, 佐藤進, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 日本化学会第102春季年会 (2022). |
マイクロ波液中プラズマ法による厚膜ダイヤモンドの合成 | 久保田侃昌, 富永悠介, 寺島千晶, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭 | 日本化学会第102春季年会 (2022). |
分析機器について(SSH連携) | 上塚洋 | 千葉県立長生高等学校, 2021年11月4日 (2021).(出前授業) |
【ショートプレゼンGOLD賞】マイクロ波液中プラズマCVDによるボロンドープダイヤモンドの高速合成 | 富永悠介, 上塚洋, 石田直哉, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第2回 ダイヤモンド・DLC関連若手研究会 (2021). |
マイクロ波液中プラズマCVDによるボロンドープダイヤモンドの合成条件の最適化 | 富永悠介, Y. Tominaga, H. Uetsuka, N. Ishida, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima, C. Terashima | 第35回ダイヤモンドシンポジウム. November 17-19 2021 Online, Japan (2021). |
Synthesis and Crystalline Evaluation of Boron-Doped Diamond by Using In-liquid Microwave Plasma CVD, | Y. Tominaga, H. Uetsuka, N. Ishida, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima, C. Terashima | 第31回日本MRS年次大会 (2021). |
Synthesis of large-area diamond thin film by in-liquid microwave plasma CVD | Y. Tominaga, A. Uchida, C. Terashima, A. Tsujiuchi, H. Uetsuka, N. Suzuki, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem 2021) (2021). |
Synthesis of large-area diamond thin film by in-liquid microwave plasma CVD | Y. Tominaga, A. Uchida, H. Uetsuka, N. Suzuki, N. Ishida, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima, C. Terashima | Materials Research Meeting (MRM2021) (2021). |
CrCoNi の EXAFS 測定による局所構造解析 | 小田昌治, 花咲徳亮, 新津甲大, 江原和輝, 村川寛, 酒井英明, 上塚洋, 軽部瑶美, 仁谷浩明, 阿部仁, 佐賀山基, 乾晴行 | 日本物理学会2021年秋季大会 (2021). |
マイクロ波液中プラズマ法を利用したダイヤモンドへの異元素ドーピング | 内田晃弘, 富永悠介, 辻内愛, 上塚洋, 鈴木孝宗, 近藤剛史, 渡辺日香里, 四反田功, 板垣昌幸, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第34回ダイヤモンドシンポジウム (2021). |
マイクロ波液中プラズマCVDを用いた大面積ダイヤモンド薄膜の製造技術の開発 | 富永悠介, 内田晃弘, 寺島千晶, 辻内愛, 上塚洋, 鈴木孝宗, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第34回ダイヤモンドシンポジウム (2021). |
加工能率一定で超硬を正面研削する場合の研削抵抗分布に及ぼす歯厚の影響 | 藤原 貴典, 小松原 凌, 堀口 晋平, 大橋 一仁, 児玉 紘幸, 大西 孝, 前田 知 | 砥精密工学会秋季大会 (2021). |
PDCビット形状が流動特性に及ぼす影響 | 水流遼太, 水谷匠吾, 船山訓宏, 加藤琢真 | 日本機械学会2021年度年次大会 (2021). |
電子デバイス切断工程に適応されるダイヤモンド工具とその最適化 | 宮本祐司 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第95回研究会「5G推進の舞台裏を探る~キーテクノロジーは脆性材の割断,切断技術~」 (2021). |
【学生ポスター賞優秀賞】高熱伝導材料作製に向けた光触媒によるダイヤモンド粒子の表面処理 | 加藤華月, 寺島千晶, 鈴木孝宗, 萩尾健史, 上塚洋, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第25回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2020). |
PDCビット周りにおける非ニュートン性流体の流動評価 | 水谷匠吾, 宗勇人, 船山訓宏, 加藤琢真 | 日本地熱学会 令和2年学術講演会 (2020). |
CrCoNi合金における局所構造の研究 | 小田昌治, 薦田匠, 川畑宇矢, 新津甲大, 江原和輝, 乾晴行, 仁谷浩明, 阿部仁, 佐賀山基, 上塚洋, 軽部瑶美, 酒井英明, 村川寛, 花咲徳亮 | 日本物理学会2020年秋季大会 (2020). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いたダイヤモンド薄膜の大面積化 | 富永悠介, 内田晃弘, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 日本化学会第100春季年会 (2020). |
精密加工を支える超砥粒工具開発 | 上塚洋 | 精密工学会 第7回 産学人材支援プログラム 「産と学生との集い-学生のための精密工学先端技術講演会」 (2020). |
非円形自由流路をもつPDCビットの可能性 | 船山訓宏, 宗勇人, 水谷匠吾, 重廣大介 | 石油技術協会春季講演会 (2020). |
SiCウェハの加工ダメージ層評価:EBSD-Wilkinson歪分布解析およびTEM観察 | 着本享, 升本恵子, 瀬川悟志, 先崎純寿, 加藤智久, 児島一聡 | 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会JSM 2019顕微鏡学のパラダイムシフト-構造解析から機能解析へ- (2019). |
Breaking the Theoretical Limit of 6.5 kV-Class 4H-SiC Super-Junction (SJ) MOSFETs by Trench-Filling Epitaxial Growth | R. Kosugi, S. Ji, K. Mochizuki, K. Adachi, S. Segawa, Y. Kawada, Y. Yonezawa, H. Okumura | 31st International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD) (2019). |
多孔質メタルホイールM-cloud®(開発品)の研削性能 | 高鍋隆一 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第86回研究会「超砥粒研削ホイールが高速・高精度・高品位研削性能を発揮するための研削加工技術」 (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法により合成したダイヤモンド結晶とその電気化学評価 | 寺島千晶, 内田晃弘, 富永悠介, 上塚洋, 藤嶋昭, 手嶋勝弥 | 第 14 回日本フラックス成長研究発表会 (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いたリンドープn型ダイヤモンドの合成 | 内田晃弘,富永悠介,寺島千晶,軽部瑶美,上塚洋,鈴木孝宗,近藤剛史,星芳直,四反田功,板垣昌幸,藤嶋昭 | 第3回次世代スマート・マテリアルの創製と応用展開に関する研究会 講演会 (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法によるダイヤモンド薄膜の大面積化 | 富永悠介, 内田晃弘, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第3回次世代スマート・マテリアルの創製と応用展開に関する研究会 講演会 (2019). |
Synthesis of phosphorus-doped diamond by in-liquid microwave plasma CVD process | A. Uchida, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Katsumata, M. Itagaki, I. Shitanda, Y. Hoshi, T. Kondo, A. Fujishima | Materials Research Meeting 2019 (2019). |
Enlargement of Diamond Film Synthesized by In-liquid Microwave Plasma CVD | Y. Tominaga, A. Uchida, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | The 3rd International Symposium on Recent Progress of Energy and Environmental Photocatalysis (Photocatalysis 3) (2019). |
金属被覆ダイヤモンドからの金属基複合材料膜の作製 | 崔鐘範, 中山亘, 沖村奈南, 上塚洋, 大谷亮太, 發知卓也, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹 | 第33回ダイヤモンドシンポジウム (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法を利用したダイヤモンドへのリンドーピング | 内田晃弘, 富永悠介, 寺島千晶, 軽部瑶美, 上塚洋, 鈴木孝宗, 近藤剛史, 星芳直, 四反田功, 板垣昌幸, 藤嶋昭 | 第33回ダイヤモンドシンポジウム (2019). |
Synthesis and electrochemical properties of phosphorus-doped diamond by in-liquid microwave plasma CVD process | A. Uchida, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Katsumata, M. Itagaki, I. Shitanda, Y. Hoshi, T. Kondo, A. Fujishima | 30th International Conference on Diamond and Carbon Materials (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成と電気化学特性の評価 | 内田晃弘, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 勝又健一, 星芳直, 四反田功, 板垣昌幸, 藤嶋昭 | 日本材料科学会2019年度学術講演大会 (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成と電気化学特性 | 内田晃弘, 原田洋平, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 星芳直, 四反田功, 板垣昌幸, 藤嶋昭 | 電気化学会第86回大会 (2019). |
PDC ビットの流体実験及び掘削試験結果と CFD 解析結果の比較 | 船山訓宏, 宗勇人, 水谷匠吾, 小林正裕, 加藤琢真 | 石油技術協会春季講演会 (2019). |
4H-SiCウェハにおける研削加工性およびダメージ層形成の極性面依存性 | 瀬川悟志, 着本享, 升本恵子, 周防裕政, 伊勢立彦, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会 先進パワー半導体分科会第5回講演会 (2018). |
ウェハ研削起因ダメージ層の歪み分布および欠陥解析(その3) | 着本享, 升本恵子, 瀬川悟志, 先崎純寿, 加藤智久, 児島一聡, 奥村元 | 応用物理学会 先進パワー半導体分科会第5回講演会 (2018). |
Tribological Properties on Carbon Nanotubes Containing Copper-Diamond Composite Films Deposited by Cold Spray Technique | N. Ata, N. Okimura, R. Ohtani, H. Uetsuka, N. Ohtake, H. Akasaka | 12th New Diamond and Nano Carbons Conference (NDNC 2018) (2018). |
精密加工を支える超砥粒工具開発 | 上塚洋 | 精密工学会 第6回 産学人材支援プログラム 「産と学生との集い-学生のための精密工学先端技術講演会」 (2019). |
マイクロ波液中プラズマ法によるダイヤモンド電極の高速合成及び電気化学解析 | 井悠生, 原田洋平, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 電気化学会第85回大会 (2018). |
精密加工を支える超砥粒工具開発 | 上塚洋 | 精密工学会 第5回 産学人材支援プログラム 「産と学生との集い-学生のための精密工学先端技術講演会」 (2018). |
厚膜 4H-SiC エピタキシャル成長における反り低減 | 升本恵子, 瀬川悟志, 大野俊之, 齊藤新吾, 児島一聡, 加藤智久, 奥村元 | 第65回応用物理学会 春季学術講演会 (2018). |
埋戻しエピ成長による SiC スーパージャンクション(SJ)構造ウェハの高精度加工 | 瀬川悟志, 伊勢立彦, 小杉亮治, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会先進パワー半導体分科会第4回講演会 (2017). |
窒素ドープ、窒素・アルミニウムコドープされた n 型 4H-SiC におけるダブルショックレー型積層欠陥の拡大速度 | 周防裕政, 江藤数馬, 伊勢立彦, 徳田雄一郎, 大澤弘, 土田秀一, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会先進パワー半導体分科会第4回講演会 (2017). |
Approach to Synthesis of the Large-scale Diamond Film Using In-liquid Microwave Plasma CVD Process | Y. Sakurai, Y. Harada, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | Second International Coference on Advances in Materials Science (ICAMS-2017) (2017). |
Rapid Synthesis of Diamond Electrode Using In-liquid Microwave Plasma CVD Process | K. Miyasaka, Y. Sakurai, Y. Harada, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | Second International Coference on Advances in Materials Science (ICAMS-2017) (2017). |
Ease synthesis the large-scale diamond film using in-liquid microwave plasma CVD process | Y. Sakurai, Y. Harada, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | Joint Symposium of The 2nd International Symposium on Recent Progress of Energy and Environmental Photocatalysis & The 23rd China-Japan Bilateral Symposium on Intelligent Electrophotonic Materials and Molecular Electronics (Photocatalysis 2 & SIEMME'23) (2017). |
Density change controls the pressure sensitivity of shear-driven amorphization in covalent crystals | G. Moras, A. Klemenz, A. Gola, H. Uetsuka, M. Moseler, L. Pastewka | 2017 MRS Fall Meeting (2017). |
【Silver Young Scholar Award DCM2017】Effect of solvents on boron doped diamond synthesis by microwave plasma assisted in-liquid CVD process | Y. Harada, Y. Sakurai, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | 28th International Conference on Diamond and Carbon Materials (2017). |
Approach to the large-scale diamond synthesis using in-liquid microwave plasma CVD process | Y. Sakurai, Y. Harada, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | 28th International Conference on Diamond and Carbon Materials (2017). |
マイクロ波液中プラズマ法によるダイヤモンド電極の高速合成及び電気化学特性の評価 | 宮坂和弥, 櫻井悠生, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第5回メゾスコピック研究会講演会 (2017). |
Effect of raw material on diamond synthesis using microwave assisted plasma in-liquid method | Y. Sakurai, Y. Harada, K. Miyasaka, C. Terashima, N. Suzuki, H. Uetsuka, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017) (2017). |
Rapid synthesis and electrochemical characterization of diamond electrode using microwave assisted plasma in-liquid method | K. Miyasaka, Y. Sakurai, Y. Harada, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, and A. Fujishima | The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017) (2017). |
EBSD-TEMによるウェハ研削加工起因の歪み分布及び微細構造解析 | 着本享, 伊勢立彦, 瀬川悟志, 丸山玄太, 橋本哲, 櫻田委大, 先崎純寿, 加藤智久, 児島一聡, 奥村元 | 第78回応用物理学会 秋季学術講演会 (2017). |
コールドスプレー法で作製したCu-ダイヤモンド複合材料膜の研削性 | 沖村奈南,阿多誠久,大谷亮太,上塚洋,大竹尚登,赤坂大樹 | 第78回応用物理学会 秋季学術講演会 (2017). |
精密加工を支える超砥粒工具開発 | 上塚洋 | 精密工学会 第4回 産学人材支援プログラム 「産と学生との集い-学生のための精密工学先端技術講演会」 (2017). |
超砥粒ホイールとその研削加工技術の現状と今後の展望 | 本間宏之 | 精密工学会第107回超砥粒ホイールの研削性能に関する研究講演会 (2017). |
コドープn型4H-SiC基板のCMP加工特性 | 平野真也, 周防裕政, 伊勢立彦, 着本享, 江藤数馬, 河田研治, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会先進パワー半導体分科会第3回講演会 (2016). |
窒素・アルミニウムコドーピング4H-SiCのビッカース圧子による機械的特性と機械加工 | 伊勢立彦, 平野真也, 周防裕政, 江藤数馬, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会先進パワー半導体分科会第3回講演会 (2016). |
窒素ドープ、窒素・ボロンコドープされたn型4H-SiCにおけるダブルショックレー型積層欠陥の拡大速度 | 周防裕政, 江藤数馬, 伊勢立彦, 徳田雄一郎, 大澤弘, 土田秀一, 加藤智久, 奥村元 | 応用物理学会先進パワー半導体分科会第3回講演会 (2016). |
ウェハ研削起因の加工変質層:微細構造と局所歪み分布の相関 | 着本享, 伊勢立彦, 丸山玄太, 橋本哲, 櫻田委大, 先崎純寿, 加藤智久, 児島一聡, 奥村元 | 応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第3回講演会 (2016). |
ダイヤモンドの世界にようこそ-工具から最先端研究まで- | 上塚洋 | JIMTOF2016 "学生のための"ものづくり業界紹介セミナー (2016). |
【若手奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法における原料溶媒のダイヤモンド合成に与える影響 | 櫻井悠生, 原田洋平, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅, 藤嶋昭 | 第4回表面・界面のメゾスコピックサイエンスとプロセッシング研究会講演会 (2016). |
【優秀ポスター賞】マイクロ波液中プラズマ法によるホウ素ドープダイヤモンドの高速合成 | 原田洋平, 櫻井悠生, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第30回ダイヤモンドシンポジウム (2016). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いたボロンドープダイヤモンドの合成及び電気化学特性の評価 | 櫻井悠生, 原田洋平, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅, 藤嶋昭 | 第30回ダイヤモンドシンポジウム (2016). |
マイクロ波液中プラズマ法を用いたダイヤモンド合成における溶媒種の影響 | 宮坂和弥, 櫻井悠生, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第30回ダイヤモンドシンポジウム (2016). |
Mechanochemical breaking of C-C bonds at the tribological interface between diamond and silica | G. Moras, A. Peguiron, M. Walter, H. Uetsuka, L. Pastewka, M. Moseler (Invited) | JIMTOF2016 "学生のための"ものづくり業界紹介セミナー (2016). |
Atom-by-atom wear of diamond in contact with silica: A quantum-mechanical simulation study | G. Moras, A. Peguiron, M. Walter, H. Uetsuka, L. Pastewka, M. Moseler | 27th International Conference on Diamond and Carbon Materials (ICDCM 2016) (2016). |
High speed synthesis of boron doped diamond by in-liquid plasma | Y. Sakurai, Y. Harada, C. Terashima, H. Uetsuka, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | 27th International Conference on Diamond and Carbon Materials (ICDCM 2016) (2016). |
EBSD-Wilkinson法によるSiCウェハ加工変質層の局所歪み解析 | 着本享, 伊勢立彦, 橋本哲, 櫻田委大, 先崎純寿, 加藤智久, 児島一聡 | 第63回応用物理学会春季学術講演会 (2016). |
High speed synthesis of boron doped diamond by solution plasma | R. Hishinuma, Y. Harada, C. Terashima, H. Uetsuka, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015 (2015). |
【若手奨励賞】液中プラズマを用いたダイヤモンド電極の作製と電気化学特性評価 | 菱沼良太, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 中田一弥, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第3回表面・界面のメゾスコピックサイエンスとプロセッシング研究会講演会 (2015). |
液中プラズマCVD法によるダイヤモンド合成と物性評価 | 原田洋平, 菱沼良太, 寺島千晶, 上塚洋, 中田一弥, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第29回ダイヤモンドシンポジウム (2015). |
マイクロ波液中プラズマ装置を用いたダイヤモンドの合成法の開発 | 菱沼良太, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 中田一弥, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第29回ダイヤモンドシンポジウム (2015). |
Synthesis of Polycrystalline Diamond Thin Film by In-liquid Plasma Method | C. Terashima, R. Hishinuma, Y. Harada, K. Nakata, T. Kondo, M. Yuasa, H. Uetsuka, A. Fujishima | 第25回日本MRS年次大会 (2015). |
液中プラズマによるホウ素ドープダイヤモンド電極の高速合成 | 菱沼良太, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 中田一弥, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 2015年電気化学秋季大会 (2015). |
Tribologically Induced Amorphization of Silicon | G. Moras, A. Klemenz, H. Uetsuka, M. Moseler, L. Pastewka | Tribochemistry Nikko 2015 (2015). |
Synthesis of diamond and carbon materials by in-liquid plasma | Y. Harada, R. Hishinuma, C. Terashima, H. Uetsuka, K. Nakata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | 9th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2015 (2015). |
Parameter studies and optimization for microwave plasma in liquid | R. Hishinuma, Y. Harada, C. Terashima, H. Uetsuka, K. Nakata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | 7th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials (2015). |
パワー半導体用基板材料の研削加工 | 渡邊正和 | 砥研磨の基礎科学とイノベーション化専門委員会 第23回KENMA研究会【難研磨材の結晶成長から粗加工~仕上げ加工まで】 (2015). |
ダイヤモンド工具と市場動向 | 前川達明 | 砥粒の日・特別企画(法人化 20 周年記念) オープンセミナー:「砥粒加工を支えるダイヤモンド」 (2015). |
Shear-induced amorphization of silicon crystals | G. Moras, A. Klemenz, H. Uetsuka, M. Moseler, L. Pastewka | 7th International Conference on Multiscale Materials Modeling (MMM 2014) (2014). |
Amorphization of silicon crystals under shear stress | G. Moras, A. Klemenz, H. Uetsuka, M. Moseler, L. Pastewka | APS March Meeting 2014 (2014). |
超砥粒を用いた鉄系材料のワンパスホーニング加工について | 水谷圭一 | CBN&ダイヤモンド先進加工研究専門委員会 (2013). |
ロータリードレッサーの現状と新たな方向性 | 稲森邦仁 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第47回研究会「超砥粒研削ホイールの最先端ツルーイング・ドレッシング技術」 (2013). |
高速マルチワイヤーソーによる SiC インゴットの高速切断(2) | 前田弘人, 高鍋隆一, 武田篤徳, 松田祥伍, 加藤智久 | SiC 及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第 21 回講演会 (2012). |
高速マルチワイヤーソーによる SiC インゴットの高速切断 | 出口喜宏, 高鍋隆一, 松田祥伍, 加藤智久 | SiC 及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第 20 回講演会 (2011). |
固定砥粒ワイヤーソーによるサファイアの切断 | 高鍋隆一 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第34回研究会「LEDの現状とそれに関わる砥粒加工の展望」 (2010). |
超砥粒砥石の種類と性質 | 伊勢立彦 | 砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会(SF委員会) 第31回研究会「超難問「小径内面研削加工」の現状とその対策技術」 (2010). |
受賞、表彰
タイトル | 名前 | 媒体 |
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【最優秀賞】マイクロ波液中プラズマCVD法における負バイアス印加によるボロンドープダイヤモンドの長時間合成 | 久保田侃昌, 上塚洋, 佐藤進, 佐野方紀, Y.M. Hunge, 寺島千晶 | 第28回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2024). |
【Graduate Student Award of MRM2023/IUMRS-ICA2023 MRM Poster Award】Scanning in-liquid microwave plasma CVD assisted synthesis of BDD films for CO2 reduction application | N. Kubota, H. Uetsuka, S. Sato, Y.M. Hunge, C. Terashima | Materials Research Meeting (MRM2023) (2023). |
【学生ポスター奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法による二酸化炭素還元における条件の検討 | 池田藍子, 上塚洋, 鈴木孝宗, 寺島千晶 | 第27回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」 (2022). |
【学生ポスター奨励賞】有限要素解析を用いたマイクロ波液中プラズマの電磁界シミュレーション | 辻井翔矢斗, 富永悠介, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
【学生ポスター奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法による厚膜ダイヤモンドの高速合成 | 久保田侃昌, 富永悠介, 寺島千晶, 上塚洋, 石田直哉, 藤嶋昭 | 第26回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2022). |
【ショートプレゼンGOLD賞】マイクロ波液中プラズマCVDによるボロンドープダイヤモンドの高速合成 | 富永悠介, 上塚洋, 石田直哉, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭, 寺島千晶 | 第2回 ダイヤモンド・DLC関連若手研究会 (2021). |
【学生ポスター賞優秀賞】高熱伝導材料作製に向けた光触媒によるダイヤモンド粒子の表面処理 | 加藤華月, 寺島千晶, 鈴木孝宗, 萩尾健史, 上塚洋, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第25回シンポジウム「光触媒の最近の展開」 (2020). |
【ISPSD Ohmi Best Paper Award 2019】Breaking the Theoretical Limit of 6.5 kV-Class 4H-SiC Super-Junction (SJ) MOSFETs by Trench-Filling Epitaxial Growth | R. Kosugi, S. Ji, K. Mochizuki, K. Adachi, S. Segawa, Y. Kawada, Y. Yonezawa, H. Okumura | 31st International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD) (2019). |
【Silver Young Scholar Award DCM2017】Effect of solvents on boron-doped diamond synthesis by in-liquid microwave plasma CVD process | Y. Harada, Y. Sakurai, K. Miyasaka, C. Terashima, H. Uetsuka, N. Suzuki, K. Nakata, K. Katsumata, T. Kondo, M. Yuasa, A. Fujishima | International Conference on Diamond and Carbon Materials 2017 (2017). |
2019年度精密工学会賛助会員感謝状 | 旭ダイヤモンド工業株式会社 技術研究所 | (2020). |
【若手奨励賞】マイクロ波液中プラズマ法における原料溶媒のダイヤモンド合成に与える影響 | 櫻井悠生, 原田洋平, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅, 藤嶋昭 | 第4回表面・界面のメゾスコピックサイエンスとプロセッシング研究会講演会 (2016). |
【優秀ポスター賞】マイクロ波液中プラズマ法によるホウ素ドープダイヤモンドの高速合成 | 原田洋平, 櫻井悠生, 宮坂和弥, 寺島千晶, 上塚洋, 鈴木孝宗, 中田一弥, 勝又健一, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第30回ダイヤモンドシンポジウム (2016). |
砥粒加工学会法人化20周年記念表彰 | 旭ダイヤモンド工業株式会社 | (2015). |
【若手奨励賞】液中プラズマを用いたダイヤモンド電極の作製と電気化学特性評価 | 菱沼良太, 原田洋平, 寺島千晶, 上塚洋, 中田一弥, 近藤剛史, 湯浅真, 藤嶋昭 | 第3回表面・界面のメゾスコピックサイエンスとプロセッシング研究会講演会 (2015). |
プロジェクト参加
タイトル | 名前 | 媒体 |
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高能率と高精度の両面を指向する超硬加工用正面研削電着砥石の開発 | 科学技術振興機構 研究成果展開事業 A-STEPトライアウト 生産加工技術分野2020年-2022年. | |
「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」 | 経済産業省(METI) ナノテク・部材イノベーションプログラム、ITイノベーションプログラム、エネルギーイノベーションプログラム2010年-2015年. | |
次世代パワーエレクトロニクス SiCに関する拠点型共通基盤技術開発 SiC 次世代パワーエレクトロニクスの統合的研究開発 | 国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO) 戦略的イノベーション創造プログラム(SIP)SIP 2014年-2019年. |