ノッチ用面取りホイール

製品概要

形状維持性を有し、高切れ味/長寿命を実現した高性能ノッチ用面取りホイール

大口径ウェーハのノッチ部仕上げ加工には小径の総形ホイールが使用されます。シャンクに対するダイヤ部の振れ精度を維持し、良好なウェーハ外周を実現します。外周用面取りホイール同様、単溝や多溝タイプ、粗・仕上げ一体型ホイール等、幅広い仕様に対応致します。

用途

• 大口径ウェーハのノッチ部仕上げ、粗・仕上げ

ボンドの種類

• メタル
• レジン

製品特性

サイズ表

工程	ボンド	粒度	送り速度
1st 粗加工	メタル	#800	0.1~0.5mm/sec
2nd 仕上げ加工	メタル レジン	#1500~#3000	0.1~0.5mm/sec

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ダイヤ層形状タイプ
（R型）（T型）