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砥粒均一分散メタル砥石「ソロテル」

事業部門
電子・半導体、 輸送機器、 機械・工具
工具の種類
研削工具
加工方法
研削、 穴あけ
ワーク
半導体材料、 ガラス、 セラミックス、 その他
ボンド
メタル

製品概要

砥粒を均一に分散させた超薄刃タイプコアドリル

セラミックス素材等で生成された精密部品、機構部品の加工において、従来のメタル工具に対し、砥粒層内の砥粒を均一に分散させる技術によって、長寿命でありながら切れ味を向上させる事が可能となりました。
さらに砥粒層の超薄刃化により、硬脆性材料他、特殊材料の加工においても、加工負荷を抑えチッピングの低減など加工能率が向上し、他工具に比べて優位性を発揮します。

用途

  • 各種セラミックス、サファイア、石英ガラス、GaN、シリコン、MMC等の硬脆性材料他の研削、コアリング

ボンドの種類

  • メタル

製品特性

砥粒の均一分散により、従来のメタルホイールより長寿命、切れ味の工場、さらにチッピングの抑制を実現
コア抜き、ザグリ加工、穴あけなど、さまざまな加工方法に使用可能

製造可能範囲
対象ワーク
粒度:#30~#400~ (*#1000)
*#1000より細かい粒度の制作は要相談。
各種セラミック材料(窒化ケイ素、SiC、ジルコニアなど)
外径:φ1.0~φ100半導体材料(GaN、サファイア、ガラスなど)
刃厚:0.3mm~その他(MMC、金属系材料、CFRPなど)
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加工事例:多結晶SiCのザグリ加工

ソロテル®はワーク角部の形状が良好で表面のチッピングも抑制できる

加工事例*
工具摩耗*
角R [mm]
チッピング [μm]
従来メタル:#100-刃厚1.0mmT
100
100
0.36
74
ソロテル®:#100-刃厚0.5mmT
50
30
0.14
45
ソロテル®:#140-刃厚0.5mmT
45
55
0.08
32
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*従来メタルで加工した時の負荷を100とした場合の相対値

測定箇所

従来メタル #100-刃厚1.0mmT
ソロテル® #100-刃厚0.5mmT
ソロテル® #140-刃厚0.5mmT
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従来メタルとの比較

従来メタル
ソロテル®
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薄刃ソロテル®の例

#140薄刃仕様
#40薄刃仕様
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工具形状の用途

コアドリル形状

コア抜き

ザグリ加工
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小径ノンコア形状

穴あけ(コンタリング、ヘリカルなど)
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Siウェーハのトリミング(外周段付け)加工

チッピングの大きさは砥粒粒径に比例する
チッピングは#400で70μm以下となった


工具仕様:外径φ10-刃厚0.5mmT
ワーク:Si Wafer

トリミング加工

粒度
加工負荷*
チッピング [μm]
#140
100
180
#200
100
96
#400
120
67
#800
150
44
Scroll

*#140-ソロテル®で加工した時の負荷を100とした時の相対値

チッピング状態

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