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ノッチ用面取りホイール

事業部門
電子・半導体
工具の種類
研削工具
加工方法
研削
ワーク
半導体材料
ボンド
メタル、 レジン

製品概要

形状維持性を有し、高切れ味/長寿命を実現した高性能ノッチ用面取りホイール

大口径ウェーハのノッチ部仕上げ加工には小径の総形ホイールが使用されます。シャンクに対するダイヤ部の振れ精度を維持し、良好なウェーハ外周を実現します。外周用面取りホイール同様、単溝や多溝タイプ、粗・仕上げ一体型ホイール等、幅広い仕様に対応致します。

用途

  • 大口径ウェーハのノッチ部仕上げ、粗・仕上げ

ボンドの種類

  • メタル
  • レジン

製品特性

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