製品詳細

ウェーハ面取り用ホイール

厳しい形状精度と耐摩耗性に加え、安定した切れ味が要求されるシリコンウェーハ外周部の面取り加工には、メタルボンドホイールやレジンボンドホイールが使用されます。単溝や多溝タイプ、粗・仕上げ一体型ホイール等、幅広い仕様に対応致します。

ウェーハ面取り用ホイール

用途
  • ・シリコンウェーハ外周部の面取り、粗・仕上げ
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