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ウェーハ面取り用ホイール

事業部門
電子・半導体
工具の種類
研削工具
加工方法
研削
ワーク
半導体材料
ボンド
メタル、 レジン

製品概要

形状維持性を有し、高切れ味/長寿命を実現した高性能ウェーハ面取りホイール

厳しい形状精度と耐摩耗性に加え、安定した切れ味が要求されるウェーハ外周部の面取り加工には、メタルボンドホイールやレジンボンドホイールが使用されます。単溝や多溝タイプ、粗・仕上げ一体型ホイール等、幅広い仕様に対応致します。

用途

  • ウェーハ外周部の面取り、粗・仕上げ

ボンドの種類

  • メタル
  • レジン

製品特性

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